Micro-capteurs de monitoring sans énergie, permettant le contrôle de santé des structures…
Micro-moteurs électrostatiques de très haute performance pour des entrainements en translation ou en rotation…
Pièces micro-mécaniques en silicium de grande précision réalisées à la demande suivant un cahier des charges spécifique…
Avec la mise sur le marché de ses premières solutions ChronoMEMS® industrielles, qualifiées dès 2011 sur application militaire en environnement sévère, SilMach s’est doté de moyens de production de capteurs MEMS hybrides permettant de répondre à des marchés de volume pour le contrôle de santé des structures.
La fabrication de produits MEMS hybrides s’appuie sur un savoir-faire unique d’intégration de composants silicium ultra précis dans un environnement micromécanique conventionnel. La production de SilMach mobilise des moyens de fabrication en salle blanche pour ses composants en silicium qui sont ensuite assemblés dans un environnement mécanique de précision comparable à celui de l’horlogerie. Standard ou spécifiquement adapté au besoin du client, chaque produit suit un processus de contrôle qualité incluant un test systématique de bon fonctionnement avant livraison.
SilMach cible une capacité de production de quelques dizaines de milliers de produits MEMS hybrides par an. Pour les volumes plus importants, SilMach propose des solutions de partenariats industriels pouvant aller jusqu’au transfert de technologie.
Dans le cadre de l’industrialisation de la production et de la maitrise des procédés, SilMach a obtenu le soutien le Région Bourgogne Franche-Comté au travers de financements européens (FEDER).
ChronoMEMS® est une gamme de capteurs « passifs », c’est-à-dire qu’ils ne nécessitent aucune source d’énergie, ni système de récupération d’énergie, pour fonctionner. Cette singularité offre des perspectives d’emploi jusqu‘alors inenvisageables dans les domaines du Maintien en Condition Opérationnelle et de la sûreté de fonctionnement. ChronoMEMS®, c’est une solution de monitoring opérationnelle 24h/24 – 365 jours/an, permettant à tout décideur logistique ou opérationnel de connaitre exactement le vécu et l’endommagement de chaque matériel, équipement ou structure en service.
Les marchés ciblés sont : l’aéronautique, le naval, les transports terrestres, la production et la distribution d’énergie, les équipements industriels, les ouvrages d’art etc…
Grâce à leur compacité, leur simplicité et leur très haute résolution de positionnement, les solutions de motorisation PowerMEMS® « direct drive » réversibles remplacent très avantageusement des ensembles moteurs conventionnels munis de train d’engrenages devenus inutiles, encombrants et consommateurs d’énergie. Ces solutions de rupture ouvrent logiquement de nouveaux domaines d’emploi grâce notamment à leur architecture radicalement simplifié comparativement aux solutions de l’état de l’art.
PowerMEMS® cible prioritairement le marché de l’horlogerie et des objets nomades ou connectés, domaines dans lesquels les gains en termes de simplification architecturale, de compacité, de prix et/ou de consommation d’énergie sont prédominants. Les domaines d’application prospectifs sont : le spatial, l’optique, l’optronique, la santé, l’instrumentation scientifique etc…
SilMach maitrise la capacité de structuration du silicium dans des échelles sub-micrométriques et réalise des pièces MEMS à façon. Les volumes de production vont du prototype à plusieurs dizaines de milliers de pièces par client. SilMach maitrise également les post-traitements du silicium ainsi que l’hybridation de composants MyMEMS® sur tous types de support micromécanique.
MyMEMS® s’adresse à tous ceux dont les besoins d’hyper-précision ne peuvent être satisfaits par les moyens traditionnels de fabrication. Les marchés principaux concernent : l’optique, l’acoustique, la fluidique que ce soit dans les domaines spatiaux, de l’instrumentation, de la santé, etc.
