WILLKOMMEN IN EINER NEUEN DIMENSION


Energiefreie Monitoring-Mikrosensoren für das „Structrual Health Monitoring“

 

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Hochleistungsstarke elektrostatische Mikromotoren für Linear- und Drehantriebe

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Präzisions-Mikromechanikteile aus Silizium, die auf Kundenanfrage nach spezifischen Anforderungen produziert werden

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DIE MEMS-REVOLUTION


SilMach, Pionier der MEMS-Mikromechanik auf Silizium

„Um Ihnen die Technologien der Zukunft schon heute bereitzustellen, sprengen wir die Grenzen der Miniaturisierung.“​

  • Mikromotoren für mobile und/oder vernetzte Systeme
  • Energiefreie mikromechanische Monitoring-Sensoren für das Structrual Health Monitoring

Um Ihnen die Technologien der Zukunft schon heute bereitzustellen, sprengen wir die Grenzen der Miniaturisierung. Zwischen der extremen Feinheit im Reinraum erzielter Muster und der besten Präzisionsmechanik, zwischen dem keimfreien Umfeld des Siliziums und der Einsatzumgebung, die wir bedienen, liegen Welten! SilMach® ist ein Schlüsselakteur dieses Technologietransfers: unser Know-how bietet Ihnen die Chance, das außergewöhnliche Potenzial der MEMS-Mikromaschinen für Ihre Applikationen zu nutzen. Das Ziel: erhöhte Kompaktheit und neue Funktionen!

Unsere Marken

SilMach konstruiert, entwickelt, produziert und integriert:

  • Die ChronoMEMS®-Lösungen: mechanische, energiefreie Hybrid-MEMS zur Überwachung (Monitoring) Ihrer Strukturen.
  • Die PowerMEMS®-Lösungen: elektrostatische Mikromotoren und Mikrosysteme für den Antrieb ultrakompakter und extrem präziser Mechanismen, die u.a. für vernetzte Objekte, mobile Technologien, Bordsysteme und wissenschaftliche Geräte bestimmt sind.
  • Die MyMEMS®-Lösungen: auf Kundenanfrage hergestellte Teile und Komponenten aus Silizium.

Eine Erfolgsgeschichte

Das Unternehmen wurde 2003 mit einer wahnwitzigen, unglaublich avantgardistischen Ambition gegründet: die industrielle Herstellung der ersten MEMS-Mikromaschinen – ein Spezialgebiet, das damals weltweit noch in den Kinderschuhen steckte! Dank seines visionären Gründers Patrice Minotti und seines Wissenschaftler-Teams machte das Startup des CNRS bedeutende Institutionen und namhafte Unternehmer auf sich aufmerksam. Seine ersten Demonstratoren wie die legendäre bio-inspirierte Nanodrohne „Libelle“ wurden als „technologischer Durchbruch“ gefeiert. Dieser technologische Erfolg und sein internationales Medienecho gaben den Auftakt zur SilMach®-Erfolgsgeschichte.

Innerhalb weniger Jahre entwickelte das Unternehmen bahnbrechende Technologien für den Antrieb von Quarzuhren und erfand anschließend im Rahmen einer Partnerschaft mit der Generaldirektion für Rüstung (DGA) sein Strukturen-Monitoringsystem ChronoMEMS®.

Seit 2003, als SilMach® den Wettbewerb des französischen Forschungsministeriums für innovative Technologie-Firmenneugründungen gewann, erntete das Unternehmen zahlreiche weitere Auszeichnungen: „Micron d’Or“ bei der Fachmesse MICRONORA 2004 und 2014, Preis für Wissenschaft und Verteidigung 2006, INPI-Innovationspreis 2010, „Prix de l’Ingénieur Général Chanson“ 2014, Mitglied von BPIfrance Excellence seit 2014, INPI-Talent 2015, „Victor de l’entreprise“ 2016 usw.

Dank dieser Anerkennungen und seiner kontinuierlichen Innovationsanstrengungen genießt SilMach® heute einen hervorragenden Ruf in Frankreich und auf internationaler Ebene bei Industrieunternehmen zahlreicher Sektoren wie Luftfahrt, Atomtechnik, Rüstung, Bodentransport und Uhrenindustrie, die von dem unbegrenzten Potenzial der SilMach®-Applikationen überzeugt sind.



FORSCHUNG UND FACHKOMPETENZEN


Über die Konzeption, Modellbildung, Konstruktion und Prototypenerstellung der MEMS-Lösungen hinaus entwickeln die Ingenieure und Techniker von SilMach® auch sämtliche mechanischen und elektronischen Schnittstellen zur Integration der SilMach®-Innovationen in Ihre Produkte.

SilMach® begleitet seine Industriekunden dank der Bereitstellung von F&E-Vorleistungen oder als Partner im Rahmen von Co-Entwicklungsverträgen bis zu den Phasen der Prototypenerstellung, der Vorserien und der Fertigung. Dabei produziert SilMach® entweder selbst oder organisiert Technologietransfers mit spezialisierten Gießereien.

Ein breit gefächertes Know-how im Dienste Ihrer Anforderungen…

Für den Aufbau der Serienfertigung und die Verfahrenskontrolle erhielt SilMach die Unterstützung der Region Bourgogne Franche-Comté im Rahmen des EU-Regionalfonds EFRE.




NEW SERVICES

MANUFACTURING & ASSEMBLY of your silicon parts

Proven manufacturing know-how, patented assembly technologies.


​MANUFACTURING SILICON PARTS


With 20 years of experience in the development of manufacturing processes for silicon parts, SilMach masters all stages of manufacturing silicon components in a clean room.

DEEP ETCHING :

Expert in deep etching (DRIE), SilMach has a wide range of techniques to produce your parts in silicon from a few microns thick to several hundred microns, in single-layer silicon wafer or in double-layer structure wafer (SOI: Silicon On Insulator).

POST-PROCESSING and FINISHING:

SilMach's hybrid MEMS products required the development of numerous post-processing and finishing processes: silicon surface oxidation, heat treatment, thin-layer material deposition by spraying or material evaporation, etc. We provide all of this know-how for your projects.

OTHER SERVICES:

For the most demanding projects in terms of design or functionality, SilMach offers specific wafer process capabilities. For more information, please feel free to contact us.

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ASSEMBLY BY HYBRIDIZATION


For its own needs, SilMach has invented new techniques for assembling silicon parts with precision micromechanical components, in particular for the watchmaking, medical, electronics, aeronautics, defense, etc. fields. Unique know-how recognized internationally, these so-called “hybrid” techniques are available for your projects:

PICK & PLACE: AUTOMATED ASSEMBLY

A guarantee of repeatability and quality, automated die-bonder assembly meets your expectations in terms of productivity and precision with capacities of +/- 3 µm.

SEMI-AUTOMATED AND MANUAL ASSEMBLIES:

Cobots and manual assembly stations are available for more complex or limited volume assembly needs.

WIRE-BONDING: CONNECTED TO ELECTRONICS

Do you want to connect your silicon chips into your electronic environment? Take advantage of our automated wire-bonding capabilities for repeatable production.

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AUTOMATED TESTING & QUALITY CONTROL


An essential complement to manufacturing and assembly services, SilMach provides you with its testing resources to qualify and control production:

OPTICAL AND ELECTRONIC TESTING MEANS:

Unitary or automated test and characterization on 4'' and 6" wafers, using optical and electronic methods: depending on your specifications, dedicated means can be developed.

ISO 9001:2015 CERTIFICATION

Certified ISO 9001:2015, SilMach is engaged in a process of continuous improvement. The company and all of its staff support you in this process and remain attentive to your needs on a daily basis. We look forward to meeting you!


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​OUR SERVICES, FOR WHICH MARKETS?


UHRENINDUSTRIE

MEDICAL

LUFTFAHRT

OPTICAL

Die Herstellung von MEMS-Hybridprodukten stützt sich auf ein einzigartiges Know-how der Integration von ultrapräzisen Siliziumkomponenten in einem konventionellen Mikromechanikumfeld. Die Siliziumkomponenten von SilMach werden in Reinraum-Anlagen hergestellt und anschließend in einer Präzisionsmechanikumgebung, wie sie in der Uhrenindustrie üblich ist, zusammengebaut. Jedes Produkt durchläuft einen Qualitätskontrollprozess mit systematischem Funktionstest vor der Auslieferung. Das gilt für Standardprodukte wie für kundenspezifische Ausführungen.

Do you have a manufacturing or assembly project?

We can respond to it.

UNSERE MÄRKTE:


ENERGIE


SCHIFFBAU

LUFTFAHRT

BODENTRANSPORT


UHRENINDUSTRIE

STRUKTUREN

ChronoMEMS® ist eine Reihe „passiver“ Sensoren, was bedeutet, dass ihr Betrieb weder eine Energiequelle noch ein Energierückgewinnungssystem erfordert. Diese Besonderheit eröffnet bisher unvorstellbare Einsatzperspektiven in den Bereichen der Aufrechterhaltung des betriebsfähigen Zustands und der Betriebssicherheit. ChronoMEMS® ist eine rund um die Uhr (24 Std. am Tag, 365 Tage im Jahr) betriebsfähige Monitoring-Lösung, die es Logistik- oder Betriebsentscheidungsträgern erlaubt, während des Betriebs jederzeit exakt über den Zustand der einzelnen Anlagen oder Strukturen einschließlich Beschädigungen informiert zu werden.

Die Zielmärkte: Luftfahrt, Schiffbau, Bodentransport, Energieerzeugung und -versorgung, Industrieanlagen, Hoch- und Tiefbau usw.

Die kompakten und unkomplizierten umkehrbaren PowerMEMS®-Direktantriebslösungen mit sehr hochauflösender Positionierung sind eine attraktive Alternative zu sperrigen konventionellen Antrieben, denn sie machen deren Getriebe überflüssig und verbrauchen keine Energie. Vor allem dank ihrer drastisch vereinfachten Architektur gegenüber bisherigen Konzepten bieten diese bahnbrechenden Lösungen folglich neue Anwendungsfelder.

PowerMEMS® ist in erster Linie für den Markt der Uhren und der mobilen oder vernetzten Objekte bestimmt, bei denen vereinfachte Architekturen, Kompaktheit, reduzierter Preis und/oder Energieverbrauch Prioritäten sind. Weitere potenzielle Anwendungsgebiete sind u.a. Raumfahrt, Optik, Optronik, Medizin und wissenschaftliche Geräte.

SilMach beherrscht die Strukturierungskapazität des Siliziums im Mikrometerbereich und fertigt MEMS-Teile nach Maß. Die Produktionsvolumen reichen vom Prototyp bis hin zu mehreren Zehntausend Teilen pro Kunde. Zudem beherrscht SilMach die Silizium- Nachbehandlungsverfahren sowie die Hybridisierung von MyMEMS®-Teilen auf allen Arten mikromechanischer Substrate.

MyMEMS® richtet sich an Kunden mit extremen Präzisionsanforderungen, die mit herkömmlichen Produktionsmitteln nicht erfüllt werden können. Die Hauptmärkte sind Optik-, Akustik- und Fluidtechnikanwendungen für die Raumfahrt, wissenschaftliche Geräte, Medizin usw.