Präzisions-Mikromechanikteile aus Silizium, die auf Kundenanfrage nach spezifischen Anforderungen produziert werden
Hochleistungsstarke elektrostatische Mikromotoren für Linear- und Drehantriebe
Energiefreie Monitoring-Mikrosensoren für das „Structrual Health Monitoring“
Anlässlich der Markteinführung seiner ersten ChronoMEMS®-Industrielösungen, die 2011 für eine Militäranwendung in rauer Umgebung zugelassen wurde, baute SilMach Anlagen zur Produktion von Hybrid-MEMS auf, die auf volumenstarke Structural Health Monitoring-Aufträge abgestimmt sind.
Die Herstellung von MEMS-Hybridprodukten stützt sich auf ein einzigartiges Know-how der Integration von ultrapräzisen Siliziumkomponenten in einem konventionellen Mikromechanikumfeld. Die Siliziumkomponenten von SilMach werden in Reinraum-Anlagen hergestellt und anschließend in einer Präzisionsmechanikumgebung, wie sie in der Uhrenindustrie üblich ist, zusammengebaut. Jedes Produkt durchläuft einen Qualitätskontrollprozess mit systematischem Funktionstest vor der Auslieferung. Das gilt für Standardprodukte wie für kundenspezifische Ausführungen.
SilMach strebt eine Produktionskapazität von mehreren Zehntausend MEMS-Hybridprodukten pro Jahr an. Bei größeren Auftragsmengen bietet das Unternehmen Lösungen mit Industriepartnerschaften an, die bis zum Technologietransfer gehen können.
Für den Aufbau der Serienfertigung und die Verfahrenskontrolle erhielt SilMach die Unterstützung der Region Bourgogne Franche-Comté im Rahmen des EU-Regionalfonds EFRE.
SilMach beherrscht die Strukturierungskapazität des Siliziums im Mikrometerbereich und fertigt MEMS-Teile nach Maß. Die Produktionsvolumen reichen vom Prototyp bis hin zu mehreren Zehntausend Teilen pro Kunde. Zudem beherrscht SilMach die Silizium- Nachbehandlungsverfahren sowie die Hybridisierung von MyMEMS®-Teilen auf allen Arten mikromechanischer Substrate.
MyMEMS® richtet sich an Kunden mit extremen Präzisionsanforderungen, die mit herkömmlichen Produktionsmitteln nicht erfüllt werden können. Die Hauptmärkte sind Optik-, Akustik- und Fluidtechnikanwendungen für die Raumfahrt, wissenschaftliche Geräte, Medizin usw.
Die kompakten und unkomplizierten umkehrbaren PowerMEMS®-Direktantriebslösungen mit sehr hochauflösender Positionierung sind eine attraktive Alternative zu sperrigen konventionellen Antrieben, denn sie machen deren Getriebe überflüssig und verbrauchen keine Energie. Vor allem dank ihrer drastisch vereinfachten Architektur gegenüber bisherigen Konzepten bieten diese bahnbrechenden Lösungen folglich neue Anwendungsfelder.
PowerMEMS® ist in erster Linie für den Markt der Uhren und der mobilen oder vernetzten Objekte bestimmt, bei denen vereinfachte Architekturen, Kompaktheit, reduzierter Preis und/oder Energieverbrauch Prioritäten sind. Weitere potenzielle Anwendungsgebiete sind u.a. Raumfahrt, Optik, Optronik, Medizin und wissenschaftliche Geräte.
ChronoMEMS® ist eine Reihe „passiver“ Sensoren, was bedeutet, dass ihr Betrieb weder eine Energiequelle noch ein Energierückgewinnungssystem erfordert. Diese Besonderheit eröffnet bisher unvorstellbare Einsatzperspektiven in den Bereichen der Aufrechterhaltung des betriebsfähigen Zustands und der Betriebssicherheit. ChronoMEMS® ist eine rund um die Uhr (24 Std. am Tag, 365 Tage im Jahr) betriebsfähige Monitoring-Lösung, die es Logistik- oder Betriebsentscheidungsträgern erlaubt, während des Betriebs jederzeit exakt über den Zustand der einzelnen Anlagen oder Strukturen einschließlich Beschädigungen informiert zu werden.
Die Zielmärkte: Luftfahrt, Schiffbau, Bodentransport, Energieerzeugung und -versorgung, Industrieanlagen, Hoch- und Tiefbau usw.
